ניצן טיטאַניום ניטריד נאַנאָ-קעראַמיק קאָוטינגנישט-מאַגנעטראָן פּראָצעס: אַנדערש ווי די טראַדיציאָנעלע מאַגנעטראָן ספּאַטערינג מעטאַל פילם, ניצט די סעריע וואַקוום קאָוטינג/נאַנאָ-דעפּאַזישאַן טעכנאָלאָגיע צו גלייך אַריינלייגן טיטאַניום ניטריד (TiN) נאַנאָפּאַרטיקלען גלייך אין די אָפּטיש-גראַד PET סאַבסטראַט צו פֿאָרמען אַ נאַנאָ-לעוועל טערמישע איזאָלאַציע שיכט. עס איז נישטאָ קיין מעטאַל שיכט צו פֿאַרמייַדן די מעטאַל אַקסאַדיישאַן און סיגנאַל שילדינג פּראָבלעמען פֿון די מאַגנעטראָן ספּאַטערינג פּראָצעס.נאַנאָ-לעוועל סטאַביליטעט: טיטאַניום ניטריד אַליין האט הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל (>800℃) און קעראָוזשאַן קעגנשטעל. די קאָוטינג סטרוקטור איז געדיכט און נישט גרינג צו פֿאַרבלאַסן אָדער צעברעכן נאָך לאַנג-טערמין נוצן. די לעבן שפּאַן איז באַדייטנד בעסער ווי געפֿאַרבטע פילם אָדער געוויינטלעכע מעטאַל פילם.